一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统

摘要

本发明公开了一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，采用FPGA计数器延时与可编程延时芯片细延时相结合的延时方式，利用时间间隔测量芯片对外部触发信号与FPGA主时钟时间间隔进行测量并通过细延时进行抖动补偿，同时利用另一片时间间隔测量芯片对实际延时时间进行测量，即外部触发信号与输出的精确延时触发信号之间的时间间隔进行测量，与设定延时时间进行比较，通过FPGA调整延时时间，实现延时时间的闭环控制。