金属材料的抛光液、抛光磨盘及抛光方法

摘要

本发明提出了一种抛光液，由以下重量份数的组分配制而成，包括：水基载液75～80份；抛光粉3～5份；表面活性剂5～10份；氧化剂0.5～5份；pH调节剂0.2～0.4份；消泡剂0.1～0.3份。抛光粉为氧化铝颗粒；表面活性剂为多元醇和醇铵盐；氧化剂为过氧化氢；pH调节剂为碳酸钠和有机酸；消泡剂为聚醚消泡剂。本发明的抛光液的抛光性能不受抛光时间影响，可以按照加工路径和规划时间对金属表面进行确定性去除，实现面形精度的快速提升。并且抛光液配制方法简单，原料容易获取，安全无污染，成本低且易清洗。