由数据处理设备实施的方法以及使用此类方法检测样品的带电粒子束装置

摘要

由数据处理设备实施的方法以及使用此类方法检测样品的带电粒子束装置。本发明涉及一种由数据处理设备实施的方法，其包括以下步骤：接收图像；提供用于所述图像的期望图像质量参数的设定点；及使用图像分析技术处理所述图像以确定所述图像的当前图像质量参数。在所述方法中，将所述当前图像质量参数与所述期望设定点进行比较。基于所述比较，通过使用图像修改技术生成修改后的图像。所述生成包括以下步骤：在所述当前图像质量参数低于所述设定点的情况下根据所述图像质量参数改进所述图像；及在所述当前图像质量参数超过所述设定点的情况下根据所述图像质量参数劣化所述图像。然后输出所述修改后的图像。