一种适用于MEMS扫描镜的闭环控制系统

摘要

本发明提供了一种适用于MEMS扫描镜的闭环控制系统。激光光源为激光发射部件，其发射的激光打在MEMS扫描镜上；MEMS扫描镜将接收到的激光进行反射；MEMS扫描镜驱动信号控制微镜面的二维偏转角度，透射反射镜将MEMS扫描镜反射的激光进行透射同时将部分光线进行反射；二维PSD阵列接收透射反射镜反射的激光光线，并依据光路计算出此时MEMS扫描镜的实际偏转角度；得到MEMS扫描镜实际偏转角度与目标控制偏转角度误差信号，该误差信号反馈到MEMS扫描镜驱动控制端，通过控制MEMS扫描镜驱动信号使MEMS实际偏转角度与目标控制偏转角度达到一致，实现MEMS扫描镜的闭环控制，提高了MEMS扫描镜的稳定性。