一种基于MEMS振镜和鼓镜的广角扫描系统

摘要

本实用新型涉及基于MEMS振镜和鼓镜的广角扫描系统，包括MEMS振镜(1)和鼓镜(4)，及位于MEMS振镜(1)和鼓镜(4)之间的第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)，第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)组成扩束镜，鼓镜(4)在步进电机带动下旋转，来自光源的光束到达MEMS振镜(1)并经其反射后得到小角度的扫描光束，然后到达第一平凸透镜(2)，之后到达第二平凸透镜(3)，经第一平凸透镜(2)和第二平凸透镜(3)进行扩束，最后再到达鼓镜(4)，鼓镜(4)由步进电机带动旋转从而获得远场发散角小于0.5mrd的扫描光束。本实用新型可以降低对系统中器件的技术要求，从而能通过更小的成本实现相同甚至更高的技术指标，极大地削减成本。