公开/公告号CN113474980A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN202080016367.6
申请日2020-01-14
分类号H02K41/02(20060101);B65G54/02(20060101);G01N35/04(20060101);H02K41/03(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 12:45:17
机译: 为了使具有样品平面的板式受检体由受检体围堵方式和装置组成
机译: 浓度分析方式,摄像做受检体
机译: 测量表面形状系统和受检体的系统误差的决定性方式