电磁波衰减体、电子装置、成膜装置及成膜方法

摘要

本发明提供一种可提高电磁波的衰减特性的电磁波衰减体、电子装置、成膜装置及成膜方法。具体而言，根据实施方式，电磁波衰减体包含第1结构体。所述第1结构体包含：第1部件，包含交互设置在层叠方向即第1方向上的第1磁性层及导电性的第1非磁性层；第2部件，包含交互设置在所述第1方向上的第2磁性层及导电性的第2非磁性层；及第3部件，包含导电性的第3非磁性层。从所述第3部件向所述第1部件的方向是沿着所述第1方向。从所述第3部件向所述第2部件的方向是沿着所述第1方向。所述第1磁性层的沿着所述第1方向的第1磁性层厚度比所述第2磁性层的沿着所述第1方向的第2磁性层厚度更厚。