新型成膜技术机械成膜法的研发及其应用

摘要

机械成膜法(MCT)作为一种新型的成膜工艺,是基于球磨机运行过程中基材与粉末颗粒之间的摩擦与冲击而开发的,它具有简便、低成本且高效等特征.通过MCT法,在基材(氧化铝球、不锈钢球等)上能制备出多种金属薄膜,如Ti膜、Cu膜、Ni膜、Fe膜、Zn膜.本文从物理、化学、机械和工艺因素4个方面研究了成膜过程及其影响因素,将成膜过程概括为黏附成核、离散岛状的形成和连接、连续薄膜的形成和增厚、薄膜的剥落4个阶段.在此基础上,开发出两步MCT法,在氧化铝球上直接制备金属与氧化物复合膜.在MCT法成膜技术的应用方面,本文重点探讨了多种光催化薄膜材料的制备方法,并对今后的研究方向进行了展望.