用于评估基板上的薄膜厚度的方法

摘要

一种用于评估基板上的薄膜厚度的方法，包括检测薄膜对电磁光谱的红外部分中的电磁辐射的暴露的原子力响应。使用原子力显微镜评估薄膜厚度以避免在利用光学测量技术评估薄膜厚度时经常遇到的底层噪声。这种底层噪声不利地影响了厚度评估的准确性。