一种基于劳厄衍射原理对全尺寸异型单晶无损检测的设备

摘要

本发明提供一种基于劳厄衍射原理对全尺寸异型单晶无损检测的信息获取设备，所述信息获取设备，包括：X射线发生器(1)、探测器(2)、样品台(3)及变焦镜头(4)；所述样品台(3)用于夹持待测样品；所述X射线发生器(1)的第一滑轨基座(1‑2)与水平方向夹角为45度，所述待测样品的微区法线与所述X射线发生器(1)产生的X射线光束的入射方向呈45度；所述探测器(2)与水平方向夹角为135度，用于接收与实验室坐标系Z轴夹角135度出射的X射线衍射光束；所述变焦镜头(4)垂直对准光斑，用于测距定位。根据本发明的方案，可以精确无损得到全尺寸异型单晶的取向、三维应变张量等数据，能够分析计算滑移方向与位错密度。