色散共焦测量系统及其误差修正方法

摘要

本发明提供一种色散共焦测量系统，包括：色散共焦测量装置、误差修正装置、处理器组件；本发明还提供误差修正方法，包括以下步骤：S1、得到成像光斑的质心位置，得到过原点和成像光斑的质心的参照直线的方程；S2、得到轮廓曲线的曲线方程，得到最短径向距离；S3、得到待测光学元件的表面与水平面之间的夹角；S4、得到待测光学元件的表面的倾斜角；S5、得到测量误差，并对色散共焦测量系统的测量结果进行修正，得到修正后的测量值。本发明通过误差修正装置，修正色散共焦测量系统在测量倾斜表面时产生的误差；本发明还通过对不同倾斜角的平面进行标定，得到倾斜角与测量误差之间的关系曲线。