公开/公告号CN113325671A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市先地图像科技有限公司;
申请/专利号CN202110637964.7
申请日2021-06-08
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构
代理人
地址 518102 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航空路西湾智园A3栋1层
入库时间 2023-06-19 12:24:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-25
授权
发明专利权授予
机译: 激光直接成像装置和激光直接成像方法
机译: 用于测量工件表面微轮廓的光学扫描头-具有磁性控制的透镜,可在表面上成像激光,并在CCD传感器板上成像反射光
机译: 用于工件的光诱导化学处理的装置具有带有化学处理材料入口,出口,光学成像板的腔室,该光学成像板在工件表面上形成照明图案的图像