氮化铝压电MEMS谐振式压力传感器

摘要

氮化铝压电MEMS谐振式压力传感器，该芯片结构包括：压力敏感层、AlN压电谐振结构单元和密封盖板层。其中压力敏感层包含一感压膜结构和两个凸台结构，感压膜结构经凸台与AlN压电谐振结构单元相连。AlN压电谐振结构单元包括上电极层、氮化铝压电层、下电极层和绝缘层；上电极包括驱动电极和检测电极，分别用于驱动AlN压电谐振结构单元发生谐振和检测输出信号，上电极呈条状，位于AlN结构上表面中心线的两侧。密封盖板层包括凹槽和电极通孔，该盖板层通过键合工艺与AlN压电谐振结构单元连接，形成真空密封腔。本发明的谐振式压力传感器，可有效降低工艺制造难度、提高传感器的可靠性。