用于动静态协同检测的压电-压阻柔性传感器及制备方法

摘要

本发明提供一种用于动静态协同检测的压电‑压阻柔性传感器及其制备方法，包括：用于采集多点动态压电信号的压电单元和用于采集静态或低频压阻信号的压阻单元，其中，压电单元包括第一电极阵列层、压电敏感层和第二共电极层；压阻单元包括压阻敏感层、上下封装层以及对称设置于压阻敏感层两侧的第一电极、第二电极；压电单元的第二共电极层的下表面与压阻单元的上封装层的上表面键合，使压电单元与压阻单元键合为一整体结构。本发明使压电与压阻效应统一在单一器件中，利用压电单元对高动态压力行为的敏感性与压阻单元对静态及低频压力行为的适用性，通过信号实时抓取与分析即可实现单一柔性触觉传感器同时用于动静态协同检测的领域。