机译:硅基微膜,具有压电驱动和压阻检测功能,可在液体介质中进行检测
机译:硅基微膜,具有压电驱动和压阻检测功能,可在液体介质中进行检测
机译:压电驱动,压阻感应的圆形微膜,用于无标签的生物传感应用
机译:在基本面内弯曲模式下振荡的液体介质中,自驱动和自感应压电-AIN悬臂的设计相关性能
机译:液体介质中生物传感试验的硅膜高质量因素
机译:改进压阻式微电子梁进行气体检测和传感的制造和建模
机译:具有热激励和压阻检测功能的新型狗骨振荡AFM探头†
机译:压电硅基微膜的多重动态行为激发和检测的电子方案