基板清洗液、使用该基板清洗液清洗的基板的制造方法以及器件的制造方法

摘要

[问题]获得通过清洗基板以能够去除颗粒的基板清洗液。[解决手段]：本发明是含有(A)不溶性或难溶性溶质、(B)可溶性溶质和(C)溶剂的基板清洗液。