公开/公告号CN113048905A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201911380080.7
申请日2019-12-27
分类号G01B11/24(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2023-06-19 11:40:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-19
授权
发明专利权授予
机译: 优化方式中的对准标记测量方法的优化方式无效,以及重叠精度测量的对准标记形式或测量条件的曝光装置
机译: 对准装置,彗形测量方法和彗形测量标记
机译: 对准装置,像差测量方法和像差测量标记