退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN113050390A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人 上海大学;
申请/专利号CN202110368181.3
发明设计人 魏鹤鸣;韩龙;徐瑞阳;吴彰理;庞拂飞;王廷云;
申请日2021-04-06
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人郑海峰
地址 200444 上海市宝山区上大路99号
入库时间 2023-06-19 11:40:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-23
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2021103681813 申请公布日:20210629
发明专利申请公布后的撤回
机译: 通过两种光刻胶的组合光刻技术在亚微米尺度上制造复杂的三维结构的方法
机译:基于确定性光刻技术的基于预选量子点的单光子发光二极管
机译:通过微纳米尺度转移印刷在任意基板上制造基于ZnSnO3的湿度传感器
机译:海水反渗透膜过程的无化学尺度抑制方法:空气微纳米泡沫
机译:通过飞秒激光双光子吸收的三维结构微纳米制造的实验系统
机译:一种新的多尺度方法,用于以雷诺数低为特征的微纳米生物分子系统的动力学建模和仿真。
机译:在硅光子平台上通过光刻技术制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:通过无掩模光刻技术制造基于聚合物的集成光子器件
机译:基于干涉光刻技术的可制造红外光子晶体