具有增加的生产能力的等离子体增强化学气相沉积装置

摘要

一种用于在多个基板上进行等离子体增强化学气相沉积的装置，包括：腔室；连接到腔室的气体供应构件和排气构件；船形件‑保持器(6)，容纳在腔室中并被构造成通过开口进入腔室以及从腔室中取出；被构造成支撑基板的船形件(4)，所述船形件包括多个板，基板位于板之间，每个船形件包括被构造成与外部操纵装置配合的操纵构件。船形件‑保持器(6)和船形件(4)被构造成使得船形件可移除地悬挂在船形件‑保持器上，一旦船形件悬挂在基板‑保持器上，基板就竖直地定向，且船形件以一个在另一个上方的方式布置。