一种基于厚度刻蚀的大面积超薄二维氮化物的生长方法

摘要

本发明公开了一种超薄二维氮化物薄膜的制备方法，包括：用氧气等离子体清洗机对衬底表面进行预处理，为氧原子的吸附提供了更多的活性位点，挤压液态金属后液态金属表面氧化膜与衬底之间的结合能力明显提高，而内层的氧化膜由于与衬底之间没有充分接触，氧化程度不够高导致其质量较差，因此在后续氮气等离子化学气相沉积的过程会把这层氧化膜刻蚀掉，获得超薄二维薄膜的同时也对氧化膜进行了氮化，得到了超薄二维氮化物薄膜。