一种应用于气体质量流量控制器的法兰

摘要

本申请涉及测控技术领域，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕过滤网，在法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。本发明结构简单、安装方便，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封和气体过滤，针对不同的气体，可以选择不同的密封方式；在密封方面，该设计比传统的法兰只多一个加工凹槽，附加加工成本基本为零，设计的过滤网，可通过激光切割快速成型，不需要多余的过滤装置，降低了制造成本和维护成本。

说明书

技术领域

本申请涉及测控技术领域，具体而言，涉及一种应用于气体质量流量控制器的法兰。

背景技术

气体质量流量控制器在化工、半导体、镀膜技术、航天等领域有重要的应用，气体流量控制器的气动接头是连接流量控制器和压力气瓶和管道的桥梁，气体通过法兰进入流量控制器内的气体通路，保证气体的密封性和过滤性是流量控制器法兰的关键用途，是质量流量控制器精确测量和不被损坏的关键。

针对气体密封问题，传统的流量控制器的法兰的密封方法包括橡胶密封和金属密封两种，金属密封具有寿命长，耐腐蚀的特点，金属密封方法只能使用一次，橡胶密封方法，具有耐腐蚀，可反复使用的特点，缺点是其寿命较短，时间长了密封圈的材料老化，会导致流量控制系统的气密性较差，导致系统测量不准确。考虑到不同的气体，其腐蚀性不同，为了兼顾气体流量控制器的金属密封和橡胶密封的优点：长寿命、耐腐蚀、密封材料可反复使用，选择适当的密封方式和密封材料，是气体质量流量控制器的通用化法兰的关键一步。

此外，针对气体过滤问题，由于气体在管道中流动时，管道内壁的杂质容易脱落混入气体，杂质随气体流入气体流量控制器，会阻塞流量控制器的毛细管，导致流量控制器的传感器失效或遭到破坏，气体的过滤是流量控制器安全工作的关键，传统的过滤方法是在气体管路中加入过滤装置，但是该方法由于需要加入多余的过滤装置，流量控制系统的制造成本和维护成本均较高。

发明内容

针对背景技术中存在的问题，本发明提供了一种应用于气体质量流量控制器的法兰，结构简单，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封以及气体过滤功能。

本申请提供的一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头，另一端设置有过滤网；环绕过滤网，在法兰体的端面上设置有凸起和凹槽。

进一步的，过滤网为薄壁结构，与法兰体一体成型。

进一步的，凸起为环形凸起，用于放置挤压金属密封圈。

进一步的，凹槽均环形凹槽，用于放置挤压橡胶密封圈。

进一步的，法兰体通过管路接头与压力瓶的气体管路连通。

进一步的，法兰体通过螺栓分别固定在气体质量流量控制器的进气端和出气端。

本发明提供的一种应用于气体质量流量控制器的法兰，具有以下有益效果：

本发明结构简单、安装方便，可以同时实现气体质量流量控制器的金属密封、橡胶密封和气体过滤，针对不同的气体，可以选择不同的密封方式；在密封方面，该设计比传统的法兰只多一个加工凹槽，附加加工成本基本为零，设计的过滤网，可通过激光切割快速成型，不需要多余的过滤装置，降低了制造成本和维护成本。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰的结构示意图；

图2为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰与气体质量流量控制器配合连接的示意图；

图3为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰金属密封示意图一；

图4为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰金属密封示意图二；

图5为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰橡胶密封示意图一；

图6为本申请应用于气体质量流量控制器的法兰橡胶密封示意图二；

图中：1-管路接头、2-过滤网、3-凸起、4-凹槽、5-金属密封圈、6-橡胶密封圈、7-气体质量流量控制器。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

如图1至图6所示，本申请提供的一种应用于气体质量流量控制器的法兰，法兰体的内部设置有气体通道，气体通道的一端设置有管路接头1，另一端设置有过滤网2；环绕过滤网2，在法兰体的端面上设置有凸起3和凹槽4。

具体的，本申请实施例提供的应用于气体质量流量控制器的法兰，主要用于连接压力气瓶和气体质量流量控制器7，使压力气瓶中的气体进入气体质量流量控制器7中进行精确测控。法兰设置在气体质量流量控制器7的两端，法兰体内部设置有气体通道，主要用于气体的进出，压力气瓶中的气体通过左端的法兰过滤后进入气体质量流量控制器7中进行测控，然后通过右端的法兰过滤后进入后续发生装置或测量装置中。法兰体通过管路接头1与压力气瓶连接，过滤网2主要用于过滤气体中的杂质，环绕过滤网2，在法兰体的端面开设有环形的凸起3和凹槽4，主要用于放置密封装置。

进一步的，过滤网2为薄壁结构，与法兰体一体成型。过滤网2为金属网，与法兰为一体式结构，金属网的端面首先经过CNC工艺加工成型薄壁结构，然后，通过激光雕刻完成微流量气体网状过滤结构，最后通过抛光工艺完成过滤网2，过滤网2主要用于过滤进入气体质量流量控制器7中气体的杂质，避免控制器的毛细管被堵塞，从而导致控制器的损坏。

进一步的，凸起3为环形凸起3，用于放置挤压金属密封圈5。凸起3主要用于进行金属密封，对金属密封圈5进行挤压，通过拧紧法兰体与气体质量流量控制器7之间连接的螺栓，使法兰体端面上的凸起3与金属密封圈5接触挤压，从而使金属密封圈5挤压贴紧发生形变，实现金属密封。

进一步的，凹槽4均环形凹槽4，用于放置挤压橡胶密封圈6。凹槽4主要用于进行橡胶密封，将橡胶密封圈6放入凹槽4内，通过拧紧法兰体与气体质量流量控制器7之间连接的螺栓，使法兰体端面上的凹槽4与橡胶密封圈6接触挤压，从而使橡胶密封圈6挤压贴紧发生形变，实现橡胶密封。

在本申请实施例中，根据实际气体流量控制器的工质特点，可以选用不同的密封方式，对于酸性气体，选择凹槽4挤压橡胶密封圈6进行橡胶密封；对于有机气体，选择凸起3挤压金属密封圈5进行金属密封；对于大多数普通气体，两种密封方式任选其一即可。

进一步的，法兰体通过管路接头1与压力瓶的气体管路连通。压力瓶的气体通过气体管路和管路接头1进入到法兰体的气体通道内，经过过滤网2的净化后，进入气体质量流量控制器7进行测控，测控完毕后，再次通过法兰过滤进入到后续的发生装置或测量装置之中。不需要在气体管路中加入多余的过滤装置，可以大大降低气体质量流量控制系统的建造成本和维护成本，用极低的成本实现了高密封、长寿命、耐腐蚀、密封材料反复使用的功能，是一种通用化的法兰。

进一步的，法兰体通过螺栓分别固定在气体质量流量控制器7的进气端和出气端。法兰体的四角上设置有通孔，通过螺栓将法兰体固定在气体质量流量控制器7的进气端和出气端，用于气体的进出，并通过拧紧螺栓可以挤压金属密封圈5和橡胶密封圈6，实现金属密封和橡胶密封。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。