ガス供給系集積用超小型マスフローコントローラ：39mmSquareマスフローコントローラ SEC-G100

摘要

半導体·液晶産業分野において、薄膜プロセスの流量制御機器に求められるのは、その性能だけでなく、コスト·サイズ面でのパフォーマンスも重要である。 ガス供給系の集積化ガスパネルの採用率が高まるなか、これらのガスパネルに搭載される当社のマスフローコントローラ(MFC)バリエーションのなかで最新機種について紹介する。