气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法

摘要

本发明实施例提供的气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法，其流量传感器用于实时检测气体通道中的气体流量值；流量调节阀用于调节气体通道中的气体流量；压力传感器用于实时检测气体通道中指定位置处的气体压力值；温度传感器用于实时检测在气体通道的入口处的气体温度值；控制单元用于根据气体压力值、气体温度值和设定流量值，以及预先存储的气体流量与驱动参数在不同的气体压力和气体温度下的对应关系，获得驱动参数的输出值，并将输出值输出至流量调节阀，以控制流量调节阀开启与输出值对应的阀门开度。本发明实施例提供的气体质量流量控制器，可以实现气体流量控制的快速响应，并实现气体流量快速达到稳定。