法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F16L9/22 授权公告日:20090325 终止日期:20160303 申请日:20080303
专利权的终止
2009-03-25
授权
授权
机译: 一种用于检查质量流量控制器的系统,该系统能够根据流经气体的气体的压差来测量流量,一种用于检查该流量的方法以及一种包括检验程序的记录介质
机译: 用于流体质量流量控制器的层流限制装置,尤其是流量相对较低的气体,具有锥形芯,可以轴向移动以方便地改变偏转流量
机译: 用于控制来自气体容器的气体流动的装置,该装置包括带有入口和出口的通道,气体流量控制器,该气体流量控制器包括在路径内的阀,该阀可以以受控方式关闭或打开,以及手动选择器可从e用途,压力传感器,电子显示器,警报数字装置进行操作电子控制器连接到气体流量控制器;设备和相关方法