公开/公告号CN112928016A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利号CN202110133828.4
申请日2021-02-01
分类号H01L21/02(20060101);H01L21/324(20060101);
代理机构32260 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙);
代理人朱晓林
地址 510535 广东省广州市开发区开源大道136号A栋
入库时间 2023-06-19 11:17:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-27
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/02 专利申请号:2021101338284 登记生效日:20220915 变更事项:申请人 变更前权利人:广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 变更后权利人:广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 变更事项:地址 变更前权利人:510535 广东省广州市开发区开源大道136号A栋 变更后权利人:510000 广东省广州市黄埔区开发区开源大道136号A栋 变更事项:申请人 变更前权利人:澳芯集成电路技术(广东)有限公司 变更后权利人:锐立平芯微电子(广州)有限责任公司
专利申请权、专利权的转移
机译: 半导体材料晶圆的快速退火工艺
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