一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器

摘要

本发明涉及一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器，包括：壳体,所述壳体包括封装盖和封装衬底，在封装衬底上开有用于接收声波的开口；压力传感器，其设置在所述壳体内部，内部包括压力感应部分和压力输入部分；MEMS微机电系统，其设置在所述壳体内封装衬底上并与声学传感装置连接，用以处理声学传感装置中传递的声学信号，和处理一些压力传感器接收和反馈的信号；声学传感装置，设置在壳体内部，与所述MEMS微机电系统连接；集成电路，其设置在壳体内部，所述集成电路用以给压力传感器、MEMS微机电系统和声学传感装置供电和确定声学输出和环境压力输出。