微机电系统MEMS环境压力和声学传感器

摘要

本实用新型公开了一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器，该MEMS环境压力和声学传感器包括：具有壳体壁的壳体，该壳体限定内部腔室和至该内部腔室的声学输入开口；移动结构，该移动结构定位在内部腔室内并且以声学方式耦接到声学输入开口。该移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分。该传感器还包括电路，该电路电耦接到移动结构并且是可操作的以基于移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。