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魏志方; 张卫平; 刘武; 崔峰; 周岁; 邹逸飞; 沈国豪;
上海交通大学微纳电子学系微米/纳米加工技术重点实验室;
薄膜与微细技术教育部重点实验室;
上海市北斗导航与位置服务重点实验室;
上海200240;
MEMS九轴传感器; 初始姿态; 时间序列分析; 卡尔曼滤波; 积分法; 转台实验;
机译:CMOS MEMS技术制造的热阻微热量流量传感器的理论和实验研究
机译:基于四元数的扩展降噪卡尔曼滤波器的降噪技术,利用MEMS传感器进行姿态状态估计的实验
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