micro coils; MEMS; micro actuator;
机译:用于非分散红外气体传感器的微机电系统(MEMS)热电堆的制造,表征和应用
机译:用于声学应用的三维(3D)微流体基微电子机械系统(MEMS)的添加剂制造
机译:孪生ECR微波等离子体增强CVD用于微机电系统(MEMS)应用的DLC膜的制备和表征
机译:在微机电系统(MEMS)应用中制造多层微线圈的新技术
机译:使用基于微机电系统(MEMS)的制造技术开发可变形电子产品。
机译:用于声流体应用的基于三维(3D)微流体的微机电系统(MEMS)的增材制造
机译:用于微机电系统应用的粘结NdFeB微结构的制备和表征
机译:利用微机电系统(mEms)制造技术可重复制造翼型微型飞行器翼