用于碳化硅单晶生长的碳化硅粉体的制备方法

摘要

本发明涉及一种用于碳化硅单晶生长的碳化硅粉体的制备方法，其针对市面可采购的高纯度β碳化硅粉体通过进一步的热处理，经过热处理工序的高纯度β碳化硅粉末有效的转化为α碳化硅粉末，而α‑碳化硅具有合适的计量成分，适合作为晶体生长原料，以最大限度地减少多孔粉末的影响，并最大限度地提高晶体粉末在生长晶体的效果。本发明的优化热处理最佳温度曲线，时间不足或温度太低不能完金消除原粉体中的自由金属硅和粉末中的多孔粉末；反之时间太长或太高会造成粉末石墨化。