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评估多通道微和/或亚波长光学投影单元的质量的方法和测试系统

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公开了一种用于评估多通道微和/或亚波长光学投影单元(28)的质量的方法。该方法包括以下步骤：对光学投影单元(28)的至少预定义部分进行照明，以便通过多通道光学投影单元(28)的预定义部分的至少两个通道来生成图像。基于对图像的分析，确定至少一个特征量，其中，该特征量的值与投影单元(28)的特性特征、投影单元(28)的缺陷和/或投影单元(28)的缺陷类别相关联。基于至少一个特征量来评估投影单元(28)的质量。此外，公开了一种用于评估多通道微和/或亚波长光学投影单元(28)的质量的测试系统(10)和计算机程序。

著录项

公开/公告号CN112525490A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-19

原文格式PDF
申请/专利权人苏斯微技术光刻有限公司;
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申请/专利号CN202010909823.1
发明设计人伊莎贝尔·阿格林;卡特琳·辛德勒;威尔弗里德·诺埃尔;索菲安妮·图尔诺伊斯;苏珊娜·韦斯特恩赫费尔;
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申请日2020-09-02
分类号G01M11/02(20060101);G06K9/62(20060101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);G06T7/00(20170101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人谭营营;胡彬
地址德国加兴
入库时间 2023-06-19 10:19:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-09-27

实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 专利申请号:2020109098231 申请日:20200902

实质审查的生效

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