MEMS电容式加速度计信号读出电路

摘要

本发明提供一种MEMS电容式加速度计信号读出电路，包括：差分调制单元，所述差分调制单元与MEMS电容式加速度计表头连接，用于将所述MEMS电容式加速度计表头检测到的低频加速度信号转化为高频电压信号，其中所述低频加速度信号由表头的电容变化量来体现；解调单元，用于将所述差分调制单元输出的高频电压信号解调为低频电压信号；滤波单元，用于滤除所述解调单元输出的低频电压信号中的低频噪声；放大电路单元，用于对所述滤波单元的输出信号进行放大。本发明的信号读出电路工作稳定，达到了降低噪声和提升检测性能的效果。