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公开/公告号CN112462570A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 三星电子株式会社;
申请/专利号CN202010818384.3
发明设计人 吕尚哲;崔南柯;
申请日2020-08-14
分类号G03F1/36(20120101);G03F7/20(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人赵南;张青
地址 韩国京畿道
入库时间 2023-06-19 10:08:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 专利申请号:2020108183843 申请日:20200814
实质审查的生效
机译: 光学邻近校正(OPC)使用OPC方法制造掩模的方法和方法
机译: 光学邻近校正(OPC)方法和使用OPC方法制造掩模的方法
机译:使用动态模型校准来改善周转时间(TAT)的新型光学邻近校正(OPC)流程
机译:通过光学邻近校正掩模设计方法改善三角形排列LCD彩色滤光片中图案的保真度
机译:使用阳离子半菁作为光学探针研究1,2-二油酰基-sn-甘油-3-磷脂酰胆碱(DOPC)的大单层囊泡的双层功能:波长选择性荧光方法
机译:调整用于掩模工艺校正(MPC)的光学邻近校正(OPC)软件。模块1:光学掩模书写工具仿真
机译:利用扩散X射线散射获得生物膜结构的新方法:在液相DOPC脂质双层中的应用。
机译:C.1171C的CIS-偏析在Serpinc1基因中的C.1171C T STOPCONON(P.R391 *)和F5基因中的转型(P.R506Q)和遗传性血栓血栓形成的GWAS多程度方法
机译:光学邻近校正(OpC
机译:用于VIs-sWIR多光谱和高光谱成像传感器的大气校正和气溶胶光学特性检索的新方法:QUaC(快速大气校正)