一种红外焦平面探测器阵列像素内响应灵敏度的仿真方法

摘要

本发明提供了一种红外焦平面探测器阵列像素内响应灵敏度的仿真方法。主要包括如下步骤，步骤1：红外焦平面探测器阵列设计；步骤2：有限差分时域方法的光学模拟，得到光子产生率积分值随高斯光斑扫描位置变化曲线Soptical(x)；步骤3：有限元方法的电学模拟，得到光电流随高斯光斑扫描位置变化曲线Sphotocurrent(x)；步骤4：Lucy‑Richardson反卷积算法求解光学串扰、扩散机制以及两种机制共同作用的像素内响应灵敏度函数；步骤5：选择不同参数进行仿真，分析像素内响应灵敏度与吸收层厚度、吸收层掺杂浓度、入射波长和像素尺寸的关系。本发明可为实际红外探测器设计、像素内响应灵敏度实验表征和红外点目标高精度探测提供有用参考。