半导体原料的破碎方法或裂纹产生方法及半导体原料块的制造方法

摘要

提供一种能够抑制伴随施加高电压脉冲而受到的来自电极材料的污染的半导体原料的破碎方法或裂纹产生方法及半导体原料块的制造方法。在对配置在液体中的半导体原料施加高电压脉冲而将半导体原料进行破碎的方法或使半导体原料产生裂纹的方法中，朝向被施加高电压脉冲的部分或电极部的周边部中的至少任一方供给新的流体，并从液体中抽吸排出新的流体及液体的一部分。