基于柔性平行四边形机构的两级力分辨率的力传感器

摘要

本发明公开了一种基于柔性平行四边形机构的两级力分辨率的力传感器，该力传感器包括有基板、上盖板、光栅尺位移传感器、探头和光栅尺安装板。光栅尺位移传感器安装在上盖板的长凹槽内；上盖板通过四周的螺钉固定在基板上，且上盖板左右与基板左右之间存在有间隙；探头一端穿过基板的前板面的通孔后安装在基板的末端平台的螺纹孔内。本发明基板采用电火花线切割的方式加工出两组柔性平行四边形直线运动机构。该两组柔性机构对称布置是为了保证了中间平台的高精度直线运动，即减小了机构的寄生误差。同时，作为力传感器的敏感结构件，基板采用一个零件，不需要进行装配，从而有效地避免了传统力传感器由于装配带来的摩擦、间隙等问题。本发明的传感器能有效地实现两级力分辨率，这是传统力传感器无法实现的。