基于柔性Roberts机构的两级力分辨率的力传感器

摘要

本发明公开了一种基于柔性Roberts机构的两级力分辨率的力传感器，该力传感器包括有敏感体、支架、位移检测件、电涡流位移传感器和探头。电涡流位移传感器通过抱紧的方式安装在支架上；支架通过螺钉与敏感体固定；位移检测件通过螺钉固定在敏感体的第一平台上；探头一端穿过敏感体的前板面通孔后安装在第一平台的螺纹孔内。本发明敏感体采用电火花线切割的方式加工出两组柔性Roberts直线运动机构。该两组柔性机构对称布置保证了运动平台的高精度直线运动，即减小了机构的寄生误差。同时，作为力传感器的敏感结构件，敏感体采用一个零件，不需要进行装配，从而有效地避免了传统力传感器由于装配带来的摩擦、间隙等问题。本发明的传感器能有效地实现两级力分辨率，这是传统力传感器无法实现的。