一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置

摘要

本发明公开一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置，包括设于玻璃传输辊上方的安装支架，安装支架垂直于玻璃板传输方向，沿安装支架间隔设有一组激光测厚仪，激光测厚仪的探头竖直向下设置；所述测量装置还包括相互通讯连接的激光测厚控制单元与上位机，各个激光测厚仪分别与激光测厚控制单元相连；玻璃板在玻璃传输辊传输时，激光测厚仪实时对玻璃板的厚度进行检测，并将检测结果反馈给上位机；该装置能够在线测量玻璃板在面研磨前和面研磨后的玻璃厚度，不影响玻璃表面质量，提高检测效率。