基于光栅尺位移传感器的液晶玻璃基板在线厚度测量系统设计

摘要

针对原使用的激光三角法玻璃测厚系统的缺陷,分析了目前主流的各类测厚方法后,设计了一种新型的玻璃基板在线测厚系统,该系统采用一对光栅尺式位移传感器,增加外部触发采样功能,提高了采样间隔的精度,并利用SQL Server和C++ Builder开发了上位控制软件,具有数据和曲线存储显示功能。该系统经实践测试,能够在30秒内完成300个采样点的测量,测量精度达±0.002mm,能够消除玻璃基板的翘曲和晃动的影响。完全满足了目前液晶玻璃基板生产的品质保证要求。