ガラスの厚み計測：反射型レーザー変位センサ

摘要

オムロン製レーザー変位センサ形ZSシリーズを使って，ガラスの厚さを計測する応用例を紹介する。 計測対象であるガラス板は透明体であるため，表面からの反射光と裏面からの反射光がそれぞれ受光レンズによって，2次元CMOSイメージセンサに結像される。 その結果，表面，裏面画像の反射光量分布が図1のような状態でそれぞれ得られるため，ガラス厚さを計測することができる。