一种基于DBC覆铜板的IPD器件及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种基于DBC覆铜板的IPD器件及其制作工艺，属于IPD器件技术领域。本发明的IPD器件包括衬底层和贯穿其中的衬底通孔，衬底层的正面和背面各有一层键合粘结层，分别为正面键合粘结层和背面键合粘结层，背面键合粘结层的背面覆有背层金属，正面键合粘结层上依次形成有最底层金属和上层金属，最底层金属和上层金属之间沉积有高介电常数介质层，上层金属上面覆有钝化层，本发明的制作工艺得到的IPD器件，具有良好的散热性，能够有效减小器件的损耗，降低制造成本。