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半导体基板、半导体封装结构及形成半导体器件的方法

摘要

本发明公开了一种半导体基板,该半导体基板包括介电层以及线路层,线路层包括内埋于介电层的第一表面的线路,线路具有通过第一表面暴露的顶侧面、与顶侧面相接的周侧面,其中,周侧面的相对两侧呈凸起,线路在凸起的上下两侧处的宽度均小于在凸起处的宽度。本发明还公开了半导体封装结构及形成半导体器件的方法。本发明至少能够使得线路层具有较佳的表面平整度。

著录项

  • 公开/公告号CN112164686A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日月光半导体制造股份有限公司;

    申请/专利号CN202010872718.5

  • 发明设计人 黄文宏;

    申请日2020-08-26

  • 分类号H01L23/498(20060101);H01L21/48(20060101);

  • 代理机构11409 北京德恒律治知识产权代理有限公司;

  • 代理人章社杲;李伟

  • 地址 中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三路26号

  • 入库时间 2023-06-19 09:23:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-07-11

    授权

    发明专利权授予

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