公开/公告号CN112099311A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 桂林电子科技大学;
申请/专利号CN202011001312.6
申请日2020-09-22
分类号G03F1/68(20120101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构45134 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张学平
地址 541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号
入库时间 2023-06-19 09:15:15
机译: 一种用于设计和制造一种光学装置的方法,包括基于通过所述方法获得的基于纳米结构的非周期性基质的近场光学调制和光学器件的非周期性纳米结构的光学装置的光学装置
机译: 基于纳米光刻技术的亚50纳米固态纳米结构的制备
机译: 基于纳米光刻技术的亚50纳米固态纳米结构的制备