一种降低飞秒激光引入结构所需时间的装置和方法

摘要

本发明公开了一种降低飞秒激光引入结构所需时间的装置和方法，属于激光加工领域。方法包括：产生第一个飞秒激光脉冲、第二个飞秒激光脉冲、……、第N个飞秒激光脉冲，N为大于或等于2的整数；调制N个飞秒激光脉冲的延迟时间，使N个飞秒激光脉冲中相邻两个飞秒激光脉冲的后一个飞秒激光脉冲到达对应反射镜的时间落后于前一个飞秒激光脉冲；将所述第一个飞秒激光脉冲以及延迟后的N‑1个飞秒激光脉冲反射至物镜中；将反射至物镜中的N个飞秒激光脉冲聚焦到加工材料内部的加工区域，形成各向异性结构。本发明相对于普通的脉冲串，将生成纳米光栅结构所需的飞秒激光加工时长从微秒纳秒量级缩短至皮秒量级，能够满足光存储等对速度有很高要求的应用。