一种六硼化镧复合碳薄膜的沉积方法及耐腐蚀应用

摘要

本发明涉及真空镀膜和氯碱化工技术领域，具体涉及一种六硼化镧复合碳薄膜的沉积方法及耐腐蚀应用，以阀门密封件为基体，采用六硼化镧作为靶材，甲烷或者乙炔作为碳源，沉积六硼化镧复合碳薄膜；沉积过程中六硼化镧会分解并和甲烷或者乙炔反应，生成碳化硼和镧硼碳纳米材料，弥散在非晶碳网络中，提高碳薄膜的承载性能和耐腐蚀性能。与现有技术相比较，本发明采用六硼化镧表面注入、梯度渐变非晶纳米晶弥散的方式沉积六硼化镧复合薄膜，提高了结合力、强韧性、耐磨性和耐蚀性能的同时降低了摩擦系数。