半导体石墨热场用的加热器及其加热方法

摘要

本发明公开了半导体石墨热场用的加热器，包括底板、点火机构、夹持机构、驱动机构、铰接机构，底板为水平横向放置的矩形板状，底板的底面四个拐角处均设有支撑柱，位于支撑柱之间在底板底面设有点火机构；底板顶面设有外筒，外筒内顶部设有坩埚，位于坩埚的底部两侧在外筒上设有一对夹持机构，且坩埚通过驱动机构与外筒活动连接，外筒的顶面敞口处设有外盖，且外盖通过铰接机构与外筒活动铰接，外盖底面设有坩埚盖。本发明还公开了半导体石墨热场用的加热器的加热方法；本发明解决了螺栓不易拆装的问题，避免了反复拆卸螺栓，造成坩埚加热器二次使用不便，通过各机构的配合使用，提高了坩埚加热的稳定性。