一种防护紫外激光损伤晶圆的临时键合胶材料

摘要

本发明涉及胶粘剂技术领域，公开了一种用于薄晶圆加工的防护紫外激光损伤晶圆的临时键合胶材料，所述临时键合胶材料由以下重量份数的原料制成：25‑45份聚合物基体树脂，0‑5份增粘树脂，0.2‑2份耐高温抗氧剂，0‑0.3份流平剂，0.2‑5份吸光材料，0‑5份反光材料，55‑75份溶剂。本发明通过提高临时键合胶层的紫外激光吸光度，降低紫外激光透过率来更好的保护晶圆表面免收损伤，本发明可有效防止紫外激光透过临时键合材料损伤器件晶圆表面。