一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针

摘要

本发明公开了一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针，该探针由三臂式悬臂梁、金属接触焊盘、打印用镍铬合金加热电极、输运用镍铬合金加热电极和聚合物存储区组成。本发明采用光刻、湿法刻蚀等常规微纳加工工艺制作得到。本发明利用加热电极的梯度密度设计，产生连续的温度梯度变化，从而实现打印料物从储存区到针尖区的持续性输运，实现自填料。本发明可以和CMOS工艺无缝集成，且打印出的材料可以通过CMOS工艺中常用的丙酮或者氧气等离子体彻底消除，没有沾污；而且采用本发明的微纳米加工方法只需要造价远远低于电子束光刻机或者极紫外光刻机的原子力显微镜，在常温下打印，具有成本低、使用简单的特点。