基于纳米马达阵列的超声精密微流控芯片及其实现方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米马达阵列的超声精密微流控芯片及其实现方法，包含：基板、盖板、压电换能器、固定有纳米马达的薄膜、进出液管及液体介质。压电换能器激发驱动微流控芯片整体作超声频率振动，在微流道内产生特定的声流场，同时纳米马达中所含催化剂成分促使底物分解产生气泡，利用气泡在声流场中的振动控制其周边的微小颗粒做特定轨迹的运动。本发明通过纳米马达阵列催化液体介质分解产生气泡，利用气泡振动引起的局部声流场变化，控制微小颗粒的定向运动。该微颗粒运动控制方式，利用声流场中的气泡振动作为动力源，有效提高了微颗粒的运动速度，能够控制多种形状和尺寸的微颗粒，并对受控微颗粒的材质没有特殊要求，因此应用范围较广。