公开/公告号CN111736436A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202010721198.8
申请日2017-03-28
分类号G03F7/20(20060101);G01N21/956(20060101);G01N21/47(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人吕世磊
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 08:27:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-08-18
授权
发明专利权授予
机译: 确定堆叠差异并使用堆叠差异进行校正
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